​超精（jīng）密零件加工在尺寸精度、形狀精度、表麵質量等多個方麵都有極其嚴格的要求（qiú），以下（xià）是具體介紹：
尺寸精度
公差（chà）範圍極小：超精密零件的尺寸公差通常被控製在微米（μm）甚至納米（nm）級別。例如，在航空航天領域，一些發動（dòng）機葉片的關鍵尺寸公差可能要求控製在 ±5μm 以內（nèi）；在半導（dǎo）體製造中，芯片製造所使用的光刻掩膜版（bǎn）的線條（tiáo）寬度公差可達到 ±10nm 左（zuǒ）右。
一致性要求高：對於一批超精（jīng）密零件，不僅單個（gè）零件要滿足高精（jīng）度要求（qiú），而且零件之間的尺寸一致性也必須極高。以手機攝像頭中的微型光學鏡片為例，同一批（pī）次鏡片的直徑尺（chǐ）寸偏差（chà）要控製在極小範圍內，否則會影響攝（shè）像頭的成像質量。
形狀精度
平麵度：要求零件的表麵平整度極高，例如，精密光學平麵鏡的平麵度可能要求達到 λ/10 甚至（zhì）更高（λ 為光的波長，通常取 632.8nm），即平麵的起伏偏（piān）差在幾十納米以內（nèi）。
圓（yuán）度：像航空發動機的渦輪軸（zhóu）等關鍵零件，其圓度誤差通常要求控製在 0.001mm 以下，以確保在高速旋轉時的穩定性和可靠性（xìng）。
圓柱度：對於一些高精度的液壓（yā）油缸、氣動元件等，圓柱度要求嚴格，可（kě）能在 0.002mm - 0.005mm 之間，以保證良好的密封性和運動精度。
位置精度
同軸度：在汽車發動機的曲軸加工中，各軸頸的同軸度誤差一（yī）般要（yào）求控製（zhì）在 0.02mm - 0.05mm 之間（jiān），否則會影響（xiǎng）發動機的動（dòng）力輸（shū）出和穩定性。
垂直度與平行度：在精（jīng）密模具製造中，模具的上下模（mó）板之間的平行度誤差（chà）通常（cháng）要求控製在 0.05mm 以內，以保證模具在合模時（shí）的精度，從而生產出（chū）高質量的產品。
表麵質量
表麵粗糙度：超精密零件（jiàn）的表麵粗糙度（dù）一般要求達到（dào） Ra0.1μm - Ra0.01μm 甚至更低。如硬盤的磁頭滑塊表麵，為了減少與磁盤的摩（mó）擦和提高讀（dú）寫性（xìng）能（néng），表麵粗糙度可能達到 Ra0.005μm 左右。
表（biǎo）麵完整性：除了粗糙度外，還要求表麵無微（wēi）觀裂紋、劃痕、毛刺、氧化層等缺陷。例（lì）如在光學鏡片的加工中，表麵任何微小的（de）劃痕或裂紋都可能導致光線散射，影響光學（xué）性能。
材（cái）料性能一致性
微觀組織均勻性：零（líng）件材料的微觀組（zǔ）織如晶粒大小、相組成等要均勻一致。以（yǐ）高強度合金鋼製造的航空零部件為例，若材（cái）料微觀組織不均勻，會（huì）導致零件在受力時出現局部應力集中，降低（dī）零件的整體性能和使用壽命。
性（xìng）能穩（wěn）定性：材料的力學性能、物理性能等要穩定。在電子元器件製造中，用於（yú）製造芯片的半導（dǎo）體（tǐ）材料，其電阻率、載流子遷移率等性能參數必須在嚴格的範（fàn）圍內，否則會（huì）影響芯片的（de）性能和可靠性。
裝（zhuāng）配精度
間（jiān）隙配（pèi）合精度（dù）：在機械手表的機芯裝配中，齒輪與軸（zhóu）之間的間隙配合精度通常要求控製（zhì）在 0.01mm - 0.03mm 之間（jiān），以保證手表的走時精度。
過盈配合（hé）精度：在汽車發動機的活塞與活塞銷（xiāo）裝配中，過盈量一般控製在 0.03mm - 0.05mm 之間，確保活塞與活塞銷（xiāo）之間既能傳遞動力，又能在不同工況下保（bǎo）持（chí）良好的工作狀態（tài）。